協力会社 株式会社シナノ精機 各種産業における製造装置の組立・調整・メンテナンス 1. 半導体関連 ……..PECVD・ALD装置のOEM生産、スピンエッチャー 2. FPD、有機EL、太陽電池関連 ……..蒸着装置、スパッター装置、アニール装置、加熱冷却装置 3. その他 ……..・JEL社ロボットOH認定工場 ……..・ハードディスクラッピング装置 株式会社アイメット ・半導体製造装置、フラットパネルディスプレイ装置の開発設計 ・その他真空機器装置の設計製作