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知識と技術でお客様の大切な
生産装置をサポートいたします

APT SYSTEMS
Advanced Production Technology

ABOUT

アプトシステムズについて

BUSINESS

事業紹介

当社は2004年12月に設立以来20有余年、半導体製造装置の改造・保守を主業務に最先端分野の技術を担っており、日本国内の半導体メーカー様より絶大なる信頼を頂いている企業です。

日本の半導体製造を支え続ける信頼と実績で、半導体製造装置の製造からアフターサービスに至るライフサイクルすべてをサポートしています。

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レガシーから最先端へ。
長年の経験と新たな挑戦で、
半導体製造装置にさらなる
価値をプラスします。

日本エー・エス・エム株式会社から同社製のバッチ式CVD装置及び枚葉式CVD装置(Eagle10)に対する保守業務全般について、業務移管されている世界唯一の企業です。

日本の半導体製造を支え続ける信頼と実績で、

半導体製造装置の

製造からアフターサービスに至る

ライフサイクルすべてをサポートしています。

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取扱装置・製品

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半導体製造装置(PE-CVD、ALD等)・COG装置・アライメントステージの研究開発、製造、販売及びコンサルタント業務

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Eagle10

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ASM社製PECVD装置Eagle10の

改造・調整・保守
SiC基板対応 / 膜種変更対応 /

4インチ基板対応 等

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サービス

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ガス配管溶接・工事請負等、

半導体製造装置や関連装置に

係わる様々なご依頼・

ご相談をお請けいたします

PARTNER

協力会社

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株式会社シナノ精機

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株式会社アイメット

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